11月3日下午，清华SIGS双螺旋中心在信息楼811室举办了第5期“X-Seminar系列学术活动”，本次活动邀请到北京工业大学副教授马赫先生作以《柔性二氧化钒薄膜及其智能器件》为主题的主旨报告，线上及线下共计30余人参加了此次活动。SIGS助理教授董恺琛主持此次活动。
报告中，马教授讲到二氧化钒薄膜制备过程中需要高温加热和氧气氛围，而常见柔性基底无法耐受这种环境，导致二氧化钒薄膜与柔性基底的集成成为柔性二氧化钒薄膜功能器件发展中的瓶颈。为此，通过实现晶圆级自支撑二氧化钒薄膜的可控制备，进一步将大面积二氧化钒薄膜转移至任意柔性基底，解决柔性二氧化钒薄膜功能器件发展中的关键问题。在此基础上，利用二氧化钒薄膜柔性化和相变带来的巨大结构变化，发展以柔性微驱动器、太赫兹调制器为代表的柔性二氧化钒功能器件。
与会人员也结合自身的研究内容，并从技术应用、成果转化等角度与马教授进行深入探讨，大家均表示受益匪浅。
